VAMAS國際研討會首度來台 促半導體量測需求接軌國際

當半導體製程持續微縮、量子與二維材料快速發展，量測技術也面臨更高精度與可靠度的要求。由工研院共同舉辦的全球先進材料標準化合作平台「凡爾賽先進材料與標準計畫（Versailles Project on Advanced Materials and Standards；VAMAS）」第51屆指導委員會及國際技術研討會今年也首度移師台灣新竹舉行，邀集美、英、加、日、韓、德等13個國家材料及標準專家，聚焦半導體、量子及新興材料的量測技術，並將台灣產業需求爭取為一線國際標準。

圖一 : 工研院共同舉辦第51屆VAMAS指導委員會及國際技術研討會，邀集全球先進材料、量測及標準專家來台交流，共同推動先進材料量測技術發展。

工研院量測技術發展中心執行長藍玉屏表示，隨著科技持續向奈米、原子尺度發展，量測已不只是驗證技術成果的工具，更是新興科技能否被產業採用、實現跨國驗證並走向國際市場的重要基礎。由於台灣既是全球半導體及高科技產業的重要聚落，更需要積極將產業第一線的量測需求帶進國際合作，掌握全球量測與標準發展趨勢，讓產業技術與國際接軌。

工研院也長期以國家計量標準為基礎，結合前瞻量測技術研發與產業應用，並透過參與VAMAS、亞太計量組織（Asia Pacific Metrology Programme；APMP）等國際平台，持續串聯國際計量機構、研究單位與產業夥伴，從過去「跟隨標準」逐步前進至「參與標準前期研究」，讓台灣的產業需求與技術能量能在國際標準形成過程中發揮影響力。

第51屆VAMAS國際技術研討會以「面向下一代技術的先進材料計量」為主題，聚焦「量子材料計量」、「半導體材料計量」及「跨領域與新興材料計量」3大方向，匯聚國際計量機構、研究單位、學界及產業專家。

包括VAMAS主席暨資深科學顧問Nicholas Barbosa、美國國家標準暨技術研究院（National Institute of Standards and Technology；NIST）材料量測實驗室副主任Stephanie Hooker以及多位資深材料與計量專家，共同分享最新研究成果與實務經驗，交流新興材料與半導體技術發展所面臨的量測挑戰，為後續量測方法建立、國際標準發展及新興科技產業化奠定基礎。

此次VAMAS指導委員會首度在台舉行，不僅展現台灣長期投入國際計量與標準合作的成果能量，也讓各國專家更深入了解台灣半導體及高科技產業所面臨的實際量測需求。有助於將產業需求與技術能量帶入國際標準前期研究與跨國合作，進一步提升台灣在先進材料量測及國際標準發展上的參與度與影響力。