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英飛凌展示全球首片12吋碳化矽功率半導體晶圓

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英飛凌科技已在其奧地利菲拉赫(Villach)晶圓廠,成功以 12吋(300毫米)碳化矽(SiC)晶圓製作出具備功能的功率元件。英飛凌是首家在大規模製造的半導體晶圓廠環境中,達成此一創新里程碑的公司,並運用了現有的矽(Si)製程製造設備。英飛凌在技術發展初期便成功製作出具備功能的功率元件,展現其致力於為客戶提供完整的高效能碳化矽功率半導體產品組合,並確保長期供應。相較於 8 吋(200 毫米)晶圓,採用 12吋晶圓生產晶片的技術更為先進、效率也顯著更高;由於晶圓直徑更大,每片晶圓可產出的晶片數量為前者的 2.3 倍。

英飛凌執行長 Jochen Hanebeck手持12吋碳化矽晶圓
英飛凌執行長 Jochen Hanebeck手持12吋碳化矽晶圓

英飛凌執行長 Jochen Hanebeck 表示:「這項技術里程碑進一步鞏固我們在電源系統領域的領導地位。我要恭喜並感謝充滿熱忱的團隊,他們在推動 12吋碳化矽技術從實驗室進入製造環境的過程中,取得了重大進展。要在功率半導體領域保持領先,就必須持續推動技術突破。如今,我們已具備矽、氮化鎵,以及碳化矽的 12吋晶圓技術,在擴大半導體製造規模並帶動盈利性增長方面,處於領先地位。」

這項里程碑展現未來將 12吋碳化矽晶圓技術全面導入工業化生產的潛力。英飛凌將與客戶及合作夥伴密切合作,規劃 12吋碳化矽技術及產能爬升時程,同時持續推進8吋碳化矽製造藍圖。先進碳化矽功率技術將為汽車、再生能源、工業及 AI 資料中心等應用領域的客戶,提供兼具成本效益與穩定的供貨來源。

碳化矽是實現高效率電源轉換的關鍵半導體材料。其材料特性有助於降低電力損耗、提升功率密度,並在高電壓及高溫環境下維持高效率運作,適用於牽引逆變器、車載充電器、電動車充電樁、大型儲能系統、工業馬達系統,以及不斷電系統等應用。AI 資料中心的需求也持續成長,碳化矽正於固態變壓器、斷路器與電源供應器等應用中扮演新角色。英飛凌以廣泛的 CoolSiC? 產品組合支援上述應用。

與此同時,英飛凌也在德國德勒斯登(Dresden)廠區,成功驗證 Cold Split 技術應用於 12吋碳化矽晶圓的可行性。相較於傳統線鋸切割,Cold Split 技術能以更少的材料損耗及大幅縮短的處理時間,從碳化矽晶錠分離晶圓,因此可從同一晶錠取得更多晶圓,同時降低所需的資本支出。這兩項技術進展使英飛凌更有能力依市場需求擴大碳化矽技術規模,並滿足客戶持續演進的需求。

英飛凌以矽、碳化矽及氮化鎵三種關鍵材料製造半導體。2026 年 10 月 27 日,英飛凌宣布於菲拉赫投資約 11 億歐元,設立採用 12吋晶圓製程的氮化鎵功率半導體量產廠。此次碳化矽技術成果,將此一布局擴展至第二種寬能隙材料,進一步鞏固英飛凌在半導體製造創新領域的領導地位。

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