相较于传统用于测量角位移的陀螺仪,今日的MEMS振动式陀螺仪感测器(Vibratory Gyro Sensor)可用来测量以度/秒为单位的角速度,又分为压电式(Piezoelectric)和矽制程式(Silicon Type)两种,请参考图一。这类感测器是运用柯氏力效应(Coriolis Effect)的原理所发展出来的量测技术。简单地说,当一个物体在旋转的参考座标上做线性方向运动,就会产生偏离的柯氏力效应现象。
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