2005年2月16日「京都议定书」历经七年时间的研议正式生效,表示人类终于开始共同以全球性的行动进行环境改善。 「温室效应」这个今天大家耳熟能详的名词,其实早在1896年便由瑞典的科学家提出,这一百多年来经过不断的争论、呼吁、证实,温室气体对于环境的危害与人类生存的威胁基本上已经没有太大的争议,然而以环境保护的观点来说,这样全球化的行动只是起点。
全球化环境改善的重要性就在于,人与心之间、人与人之间甚至人与环境之间的关系就是──共生,这种共生就像近来国内政坛最热门的和解话题一样,是互利共生而不是片利共生甚至寄生,就像生物界的藻类与珊瑚、小丑鱼与海葵、水牛与白鹭鸶等,生物共生是生命以几十亿年演化史凝聚的「智慧」,近代人类从环境中获取太多资源,只是一种寄生的关系,温室效应就是在没有互利共生的情况下所产生的反扑。
近来高科技产业的发展迅速,尽管在温室效应的危害上,不若石化、钢铁等重工业,但是在京都议定书的精神上,仍有其对于抑制温室效应加剧的责任,半导体制程中所使用的全氟碳化物(PFCs)就是造成地球温室效应的严重因子,该物质是半导体厂商在清理反应枪(champer),以及干式蚀刻制程(dry etching)和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition;CVD)清洗制程时,所必用的气体,减少污染排放量的方法,厂商可以就管路末端污染设施改善、空气污染防制设备更新以及将既有处理方式由过滤回收改为燃烧式,有效降低污染排放量;或以替代性气体全氟丙烷(C3F8)等污染量较少的气体替代。
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