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SOI制程让摩尔定律不失效
专访Soitec资深营销业务副总裁Michael Wolf

【作者: 廖專崇】2003年10月05日 星期日

浏览人次:【12229】

在半导体制程进入奈米等级之后,我们一方面要求半导体的线径不断缩小,一方面又要不断提升IC上电子的迁移率,以提升芯片的运算能力,但是以目前的制程技术看来,似乎已经慢慢走到极限,而发展SOI(绝缘层上覆硅)制程IC生产用薄膜基板供货商的Soitec,对于可以提升芯片效能与降低耗电率的SOI制程,有把握可以将摩尔定律在奈米时代继续延续下去。


SOI技术其实在许多年前就已经被人提出,而由IBM成功将其商业化,Soitec在SOI制程薄膜基板的市占率超过80%,Soitec资深营销业务副总裁Michael Wolf表示,利用SOI制程,可以让芯片效能提升30%,并降低2~3倍的耗电率,该公司发展的Smart Cut技术甚至已经逐渐成为全球SOI制程的业界标准,目前Soitec生产8吋晶圆的一厂产能年出货量可达到80万片,因应12吋晶圆的发展趋势,明年将进入量产的二厂完全量产后,年产量更可以提升到200万片12吋晶圆。


Michael Wolf进一步强调,利用Soitec的Smat Cut技术,该公司提供适合不同应用的产品,包括:薄膜与超薄膜型SOI产品,支持高速、低电压、低功耗需求产品,如微处理器与无线通信芯片;厚膜型SOI产品,需求高电压、高温环境的光电组件与MEMS/MOEMS组件;SOQ(Silicon On Quartz)晶圆,是细薄的单晶型薄膜,应用在需要高电阻的透明基板。
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