晶圆清洗在半导体制程的多项步骤,包括前段制程与后段制程(BEOL与FEOL)都会出现。对于制程来说,晶圆清洗的重要性取决于减少晶圆前、后两面上粒子与污染物质,还能同时进行湿式表面准备动作的能力。这对于提升制造商的良率来说十分重要,因为晶圆清洗可降低每片晶圆上的缺陷数量。

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SEZ亚太区技术营销副总裁陈溪新表示,晶圆清洗市场分为两种技术—干式与湿式。显然地,业界主要倾向于湿式清洗,其中包含批次喷洒式清洗、单晶圆以及(批次)自动湿式台(湿式清洗台)系统。十年来,批次技术在晶圆清洗领域内受到广泛使用。然而,半导体国际技术发展蓝图(ITRS)在迈入更小结点与制程内引进新材料的发展前提下,概略提出了更严格的清洗规则,强调批次工具在符合这些需求方面带有限制。这为未来更创新的解决方案铺路—也是SEZ在晶圆清洗市场所扮演的角色。

身为单晶圆湿式处理解决方案供货商,SEZ领导业界从批次转移到单晶圆工具。在2005年,整体湿式清洗市场为14亿美元,而SEZ拥有高达17%的市占率,预估在未来几年仍会持续成长,尤其是在尖端技术市场(12吋晶圆,90nm以下制程)。

SEZ的Enhanced Sulfuric Acid(ESA)剥除应用可使用一系列以硫酸为主要成分的化学制剂在除灰器及/或批处理的环境中,大幅减少直至目前为止光阻去除制程中所需进行的步骤。相较于批次工具,SEZ的单晶圆处理提供更多的优点,例如:更好的缺陷控制、制程控制以及耗材使用率的优化。不仅如此,单晶圆方式在晶圆表面如何使用、以及使用何种化学制剂方面提供更高的弹性。

SEZ在单晶圆旋转处理技术市场的领导厂商与首位创新者,同时亦是湿式清洗技术的第三大供货商(包括批次喷洒清洗与自动湿式清洗台解决方案厂商)。正因如此,SEZ藉由在Da Vinci与BEOL之清洗市场上所获取的经验进一步由批次转移到单晶圆,特别是FEOL的制程。SEZ的ESA剥除应用是从前段制程出发的许多尝试之一,并且符合SEZ为提供业界全湿式处理解决方案所做的努力。

SEZ预见全球晶圆清洗设备市场将会完全转移到全湿式的清洗方式,最终将由单晶圆来领导市场。SEZ了解到台湾市场以及在这里所开发与制造世界领先技术的重要性。计划在目前既有的领域,如BEOL处理方面,持续拓展SEZ的定位与市占率。不仅如此,我们一直扩大我们的后段先进封装市场,相信在不久的将来这部分将成为SEZ重要的成长领域。最后,我们计划从我们的ESA剥除应用开始着手,积极的进入FEOL市场,最终藉由我们其他重要的清洗应用来拓展市场。

陈溪新指出,2005年底,SEZ在台湾设置了全球最大、也是成长最快的单晶圆湿式处理清洗室,台湾持续占领SEZ约30%的业务。SEZ自1995年单晶圆处理趋势在新晶圆代工厂开始兴起之际,便一直活跃于亚太市场。亚太区对于SEZ来说是极度重要的区域,多年来的原因有许多,亚太区:是晶圆制造的中心,带动先进IC的发展;带领使用Da Vinci,转移进入单晶圆处理;同时在2005年约占SEZ总营收的50%,在2006年上半甚至占70%。