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多家半导体大厂将导入90奈米SOI制程
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2003年06月25日 星期三

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网站Silicon Strategies指出,由摩托罗拉(Motorola)、飞利浦(Philips)、意法微电子(STMicroelectronics)及台积电在法国Crolles设立的合资厂,将导入90奈米绝缘层上覆矽(SOI)制程,预计2004年可生产出PowerPC处理器。

该报导指出,摩托罗拉已在其位于美国德州奥斯丁的MOS-13晶圆厂中测试90奈米CMOS-SOI制程,目前应用于8吋晶圆上,该公司打算将同样制程用于12吋晶圆上,因此必须到法国的Crolles厂继续制程开发。估计自2003年夏天开始,合资厂就会开始在12吋晶圆上测试此制程。

该公司曾指出,SOI技术是CMOS制程在未来10年内最关键的部份,IBM、三星(Samsung)、超微(AMD)、东芝(Toshiba)、IBM等业者均已开始发展相关技术。摩托罗拉指出,采SOI技术生产的电路比普通CMOS技术生产的电路效能约高出25~35%。

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