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力晶12吋厂将采用Asyst自动化设备
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2003年11月05日 星期三

浏览人次:【2317】

晶圆厂自动化系统大厂Asyst宣布该公司获得力晶半导体数百万美金订单,力晶将于该公司第一座12吋晶圆厂12A之第二期“自动材料处理系统(AMHS)”使用Asyst之设备,并预计于2004年第一季开始装机。

力晶表示,自动材料处理能力是DRAM厂提高生产力的关键因素之一,该公司选择Asyst设备,是因为力晶12A第一期AMHS已采用该公司之解决方案,而基于其成效与可靠性,力晶决定在第二期继续采用Asyst之12吋AMHS设备。

Asyst为圆厂自动化解决方案的主要供货商,该公司锁定半导体晶圆业者与显示器制造商,提供厂房隔离系统、加工过程中的材料管理、基座操作机器人技术、自动传输和加载系统、自动连通软件等先进自动化设备。

關鍵字: 力晶  Asyst 
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