为加速我国65奈米IC制程的研发时程，并推动下世代半导体产业材料的技术整合，由工研院化工所号召，台积电、日产化学工业株式会社（Nissan Chemical Industries）、长兴化工、永光化学、同步辐射中心为创始会员，共同筹组的「65奈米研发联盟」。

联盟会员从65奈米制程的研发阶段就共同投入开发，可以经由相关技术提前的垂直整合，建立技术与材料的适用性，避免量产时的介面问题，同时经由各自技术的投入，得知整合性技术的最新进展，奠定技术长期领先的基础。

该联盟将采循序渐进的方式，短期内先由65制程中黄光制程之材料入手奠基，主要活动将着眼于整理并交流技术与市场资讯，以建立上中下游的互信与共识；中期则以65奈米技术落实为目标，继续纳入65奈米制程中其他的关键材料，例如蚀刻气体、高介电材料、低介电材料、化学机械研磨液等，同时邀集更多半导体材料、设备、IC FAB的厂商与学研界加入，以扩大联盟的延伸度；长期则希望透过政府大型计画的支持，进一步将联盟发展成整合型半导体研发中心，开发下世代奈米晶片所需的材料技术，建立国内技术主导的产业通路，使台湾成为全球IC相关材料与技术生产与创新的重镇。