工研院今日宣布，将「新世代溶液奈米粒子监测系统-SuperSizer」技术移转给今年8月成立的新创公司-兆唼奈米科技，共同与半导体自动检测厂致茂电子携手打造半导体前段高阶制程。

工研院与新创公司兆唼奈米科技，今天举行「SuperSizer」技转签约仪式。左起工研院量测中心主任林增耀、工研院院长刘仲明、兆唼奈米科技暨致茂电子董事长黄钦明。

兆唼奈米科技公司是由致茂电子转投资的新创公司，目前已进驻新竹科学园区。兆唼董事长黄钦明表示，兆唼的「新世代溶液奈米粒子监测系统」是非常创新的技术，与致茂电子共同切入半导体前段制程检测，并已获准进入新竹科学园区，资本额将从二千万元增至二亿元。目前半导体制程已推进至七奈米、三奈米，而良率更是先进制程的主战场，如果可以有效监管、检测杂散的奈米粒子、并加以控制，对半导体制程良率提升将有很大的贡献。

此次技转的SuperSizer技术是由工研院所研发，不仅可以连续24小时线上监测研磨液、双氧水及超纯水等化学溶液中粒子的大小与浓度，可量测的粒子范围囊括5-1,000奈米，远优於业界约20奈米的监测水准。此外，根据以此估算，若半导体制程可减少20奈米以下的微粒污染，每提升0.1%良率，预估可增加净利600万美元。

工研院院长刘仲明表示，今天的签约除了展现工研院的前瞻检测技术的优势，也是彰显工研院落实产业化之创新育成实绩，工研院最近才从全球百大科技研发奖中抱回九项大奖，这些得奖的技术除了给予团队高度的肯定外，最重要的是要落实产业化的研发成果。工研院最重要的指标是带动产业发展，今天移转的SuperSizer检测技术亦曾在2015年入围R&D 100 Awards，给技术团队很大的鼓舞。