半导体业先进制程生产技术导厂商诺发系统公司,13日宣布台积电(TSMC)以2005年最佳产品奖,认可诺发SABRE NExT铜电化学沉积系统的优异效能。
台积电营运组织副总罗唯仁博士表示:「SABRE NExT的领先技术及其低作业成本与高生产力,是让我们300mm晶圆产量跃升的重要关键因素之一。我们非常感谢诺发致力与台积电合作,达到技术与生产力的要求。」
位于奥勒岗州Tualatin,诺发电化学沉积产品事业单位资深副总裁Tim Archer表示:「我们很荣幸获选为台积电2005年最佳产品奖的得主。台积电是领导90奈米以下晶圆制造技术发展的公司之一。我们希望藉由SABRE NExT,继续提供不断扩充的选项,让客户因应持续发展的市场动力。」
台积电自1998年,即采用诺发的SABRE工具,最初是200mm晶圆的130奈米技术。诺发在全球已安装200台以上的SABRE系统。