据日本半导体制造设备协会（SEAJ）的统计资料，日制半导体制造设备接单额，自2002年3月即开始出现大幅成长，近三个月来的成长率更在两倍以上；但若以此趋势来判断半导体设备业景气已经回复，恐怕仍是言之过早。

据SEAJ公布的2002年11月日制半导体制造设备接单统计，金额为556.9亿日圆，年成长率达127.5％，而2002年10月亦成长106.6％。而在日制半导体销售额方面，则是由2001年4月以来连续17个月的衰退，在2002年9月转为正成长，并达到1130亿日圆，但接下来的10月、11月虽然亦较2001年同期成长，但仍不及9月销售额的二分之一。

2002上半年度半导体制造设备厂商财报数字表现皆不佳。主要是在2002上半年度半导体厂商抑制设备投资，设备商即使是努力改善经营体质，仍无法改变销售不佳的事实。而最主要的半导体制造设备接单／销售额虽然较市况最差的2001年增加，但仍说不上是景气回升的迹象。

抱持乐观看法的设备需求者认为，前往中国大陆投资设厂的家电、通讯外商企业大幅增加，加上大陆本土电机企业的兴起吸引半导体厂商前往，将会使大陆地区设备接单额爆增，然在台湾IT产业逐渐空洞化、美国经济依旧疲弱的阴影之下，未来整体的半导体制造设备市况仍不明朗。