使用电浆制程技术之MEMS(微机电系统)与相关市场之成长蒸蒸日上。电浆制程技术厂商Surface Technology Systems plc(STS)宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机(DRIE)已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世(Robert Bosch)之订单。该业务强化双方长久以来的合作关系，也是Pegasus自从2005年6月28日推出以来，所接获的第五张重要订单。

Pegasus系统将会安装在Bosch位于德国鲁特林根(Reutlingen)的晶圆厂，未来将用于多项研发计划中，开发新的MEMS设备。STS软件灵活性高，加上可直接手动控制之系统，让Bosch等厂商能`提升个别制程的效能，确保产品质量与高良率。在MEMS市场中，设备设计经常随各个不同厂商而有显著差异，该公司的设备足以因应客户群之不同需求。

除了Pegasus技术所能提供的制程优点以外，STS此次赢得Bosch青睐的另一主因，在于STS承诺在德国境内提供客户支持与服务。今年初，STS重新整顿并加强位于乌尔姆(Ulm)之德国办公室的工作团队，并指派一位区域客户支持协调主管前往领导该团队。