联电集团董事长曹兴诚表示，8吋晶圆厂每公吨用水可创造的产值是纲铁业的15倍、石化业的10倍：每瓩的用电可创造的产值，晶圆厂是钢铁业的7.2倍，是石化业的1.98倍：每公顷用地创造的单位产值，8吋晶圆厂是钢铁业的87倍，是石化业的42倍。从各项数据比较，政府都应该鼓晶圆厂的投资。

曹兴诚表，政府取消半导体租税优惠商能提出正确的理由，半导体产业愿意接受，但如果理由似是而非，就将一年研发费用数10亿元，甚至上百亿元的半导体公司的列为基础工业，显然无法让人接受。