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美國半導體設備材料產業出現衰落跡象
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2003年09月30日 星期二

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美國半導體設備及材料產業在1980年代初期至中期沒落後,於1990年代藉成立International Sematech產業團體達到重振旗鼓之效,但短短2~3年的時間內,美國仍在重要的微影、電子束設備等市場失去主導地位,不僅美國碩果僅存的微影設備商Silicon Valley Group在2001年由荷商ASML Holding以16億美元收購,美國其他設備及材料技術近來亦有落後的跡象。

據網站Silicon Strategies報導,1980年代美國設備材料業發展落於日本之後,美國主要半導體廠商共同成立Sematech,盼能促進美國國內半導體設備及材料產業發展,此合作計畫確實讓美國得以在1990年代再度就半導體製造技術,奪回領先地位。但面對美國半導體設備材料產業的新危機,Sematech恐已無法再扮演提振產業的角色。

光罩技術諮詢公司Rygler and Associates總裁Ken Rygler表示,日商大日本印刷(DNP)、凸版印刷(Toppan Printing)皆有意朝高階光罩技術發展,以和杜邦光罩(DuPont Photomask)、Photronics等美國同業一較高下,為縮小與日本同業之間的差距,美國本地業者確實得採取一些行動。

但美國廠商在某些半導體製程運用上依然領先同業,如化學氣象沉積(CVD)、物理氣象沉積(PVD)、快速高溫處理(RTP)等製程技術,與自動測試設備(ATE)、銲線技術等後端設備開發等項目。

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