台灣半導體設備暨材料展(SEMICON Taiwan 2004)15日閉幕,會場傳出微影設備大廠ASML與Nikon接獲英特爾新訂單,也將與記憶體大廠美光與晶圓大廠台積電在微影設備上進行合作,此外英飛凌也將與暐貰科技(Aviza)合作,採用該公司原子層沉積(ALD)設備。
暐貰亞洲區副總裁周雷琪表示,12吋晶圓設備已經進入成熟期,暐貰早期與英飛凌合作,發展DRAM設備,其中的ALD設備一次可以容量二個板,產出時間大幅減少40%。周雷琪表示,12吋廠到90奈米製程,甚至是65奈米製程的設備都已經開出到一個階段,設備廠商的下一個挑戰會出現在45奈米製程以下,而第四季開始,晶圓廠商因為設備成熟以及市場驅動,將會出現產能採購的設備訂單。
美光亦表示,將透過與ASML Mask Tools的合作,提升美光在顯影技術的能力,也將採購ASML的曝光機台以維持美光在95奈米以下技術的領導地位,並擴大到顯影的智慧財產權(IP)。