為了打破過去日商在低溫多晶矽(LTPS)TFT面板製程設備的寡佔情況,美國Cymer與德國卡爾.蔡司SMT宣布將合資成立TCZ(股本2500萬美元),鎖定LTPS製程中的雷射回火結晶製程設備市場,預計明年第二季可以開始出貨,2008年達成損益平衡目標。
Cymer是目前全球深紫外光微影系統的光源主要供應商,德國的卡爾.蔡司SMT則是製程控制光學系統的知名廠商,兩家公司決定合資成立TCZ,針對LTPS製程中的雷射回火設備進行開發。
據了解,目前主要的LTPS前段製程設備以日本的JSW與住友重工為最大,兩家公司各佔有八成與一成多的市佔率,為一明顯的寡佔設備市場。
TCZ執行長Brian Klene指出,目前第四世代的LTPS回火設備一台報價約600萬美元,每年的市場需求約在十至十五台左右,估計到2010年時,每年的需求量將達到3、40台。