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八代玻璃基板設備韓國亮相
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2005年03月23日 星期三

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南韓化學氣相沈積設備(PECVD)廠商周星工程(Jusung),在今年的上海平面顯示器大展中,首度展出全球第一片完成鍍膜的第八代玻璃基板,並脫離過去傳統的枚葉式設計(Cluster),而改採InLine直線式的方式,以求提升生產效率。但其他設備同業對此則表示,此種設計的問題仍多,顯示後續在八代廠的設備方面,仍將有許多製程設備上的基礎問題待解決。

日本面板大廠夏普預計要在明年十月進入八代廠量產,不過許多設備商都仍指出,現階段相關的設備都還在開發中,能否如期將設備完成裝機,把握程度都不高。美商AKT指出,如以夏普的量產計畫時程來看,相關的八代廠設備恐怕在今年底就要準備開始交機,目前仍在追趕進度,希望在聖誕節前可以完成相關的開發。

周星方面則指出,由於八代廠的設備體積過於龐大如果再採用過去的枚葉式設計,整個設備佔地面積會過大,因此該公司採用新的設計概念,將CVD設備設計成直線式InLine設計,整個設備呈現長方形,分成上下兩層,投片效率可望是傳統式設計的二倍,但是重量仍將超過100公噸以上(一般傳統設計的七代線CVD,重量大約80公噸)。

由於八代玻璃基板尺寸,長寬已經超過2公尺,因此運送過程特別困難,以周星在會場所展示的八代鍍膜玻璃來說,可能是在展示搬運過程中有碰撞,因此大片玻璃中央亦出現一條裂紋,顯示未來八代面板廠的量產之路,恐怕還是有相當長的一段路要走。

關鍵字: 周星 
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