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半导体新蚀刻技术问世
兼具环保、省成本、小体积等特色

【CTIMES/SmartAuto 陳瑩欣报导】   2002年06月21日 星期五

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自然期刊(Nature)20日报导,现在的制程使用光线或腐蚀性化学药剂,在硅晶圆上蚀刻。全新的制程技术,则使用石英模具在熔化的硅上印刻。普林斯顿大学电子工程教授史帝芬‧周 (Stephen Y. Chou)说:「我们制程技术的优点,是能够把体积缩小十分之一。」如果未来研究证实这种制程技术确实可行,将为半导体产业带来创新。

史帝芬‧周的研究团队已制造出140奈米的电路,并在报告中说明10奈米制程的相关细节。现行的蚀刻技术,最小制程为30 奈米到70奈米。使用传统蚀刻技术制造单一芯片需时20分钟,使用史帝芬‧周的新技术,只需四百万分之一秒。

新制程的发展基础是机械印刷。首先把电路刻在石英模具上,然后将石英模具放在硅晶圆上,再用雷射光熔化硅,就能将电路印在硅晶圆上。

史丹福大学电子工程教授皮斯(R. Fabian Pease)表示,1960年代半导体产业也曾尝试类似的制程技术,但因持续出现瑕疵而放弃。他说:「但是这几十年来,良率控制已有很大的进步。」史帝芬‧周将这项技术称为雷射辅助直接印刷技术(LADI)。

關鍵字: 蚀刻技术 
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