安捷伦科技(Agilent)于日前宣布,推出Agilent 8500场发射型扫描式电子显微镜(FE-SEM)。Agilent 8500是一个小型系统,它为研究人员提供了在他们自己的实验室,进行低电压、高效能成像所需的场发射型扫描式电子显微镜。
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安捷伦科技推出小型扫描式电子显微镜 |
创新的Agilent 8500经优化后可提供低电压成像能力,超高的表面对比,以及通常只有在较昂贵的大型场发射型显微镜中才看得到的分辨率。Agilent 8500 FE-SEM的大小与激光打印机差不多,并且提供方便的即插即用效能。不需要用到专属的设备,只要一个交流电源插座就够了。独特的科学等级系统提供了好几种成像技术,可增加材料的表面对比。透过Agilent 8500可观察各种奈米结构材料上的奈米特性,包括任何基板(甚至玻璃)上的聚合物、薄膜、生物材料、以及其他能量敏感度高的样本。
Agilent 8500 FE-SEM在非导电样本的处理上可以不需要镀膜,因镀膜可能遮蔽奈米特性;也不需藉助加压操作,加压操作可能会降低分辨率。连续改变的成像电压可以当成一个操作参数在500 V到2000 V的范围内进行调整,而非当作一个设定选项。此外,该系统使用一个四段式微信道板侦测器,沿着两个正交方向提供拓朴成像,以增加表面细节。该技术已被证实可清楚解析结晶物质(例如多形体结构的6H-SiC)表面上的次奈米原子台阶。
硅基微制造(Silicon-based microfabrication)技术,让安捷伦得以设计和制造一个小型的静电电子束,并将它与场发射型电子源结合以构成Agilent 8500。Schottky场发射型电子源可提供高亮度及一致、持久的效能。该系统的辅助和反向散射电子侦测功能,可为每个样本提供丰富的数据。