爱普生(Epson)日前宣布，开发出三种全新系列的精巧型石英振荡器产品。新的SG-210S*H系列振荡器尺寸为2.5 mm x 2.0 mm，能在80 MHz至170 MHz的范围内以稳定的高频基本波振荡。

爱普生开发出三种全新系列的精巧型石英振荡器产品

近几年来，更为快速的数字设备及更高的网络承载容量，促成更高频率运转频率的使用需求。但是，大部份用来做为频率源的高频石英振荡器，都是7.0 mm x 5.0 mm的大封装。此外，常见于这些产品中的石英晶体(共振器)，多是以三阶谐波模式运作，其稳定性是次于基本波的。因此对于更小型、更稳定高频率石英振荡器的市场需求便因应而生。

为响应此一需求，Epson运用其QMEMS技术，将石英材料与微机电系统技术结合，推出SG-210S*H系列产品。本系列产品中的振荡器配备内建的石英晶体，能以极为稳定的基本波振荡，不仅其封装后的大小仅2.5 mm x 2.0 mm，同时，与现有同等Epson产品相比，耗电量约降低70%。

藉由使用光学微影QMEMS制程，能削薄靠近励磁电源(电极)的石英芯片内的特定区域，建立出一个蚀刻技术(inverted-mesa)的结构，以达到高频率基本波的小尺寸及高稳定性。相位抖动的典型值为0.3 ps，对于高速频率源的这项重要特性来说，是非常低的数值。