先进电子度量系统及探针卡生产领导厂商Cascade Microtech,6日宣布其Pureline晶圆探针系统已获得美国、亚洲、日本及欧洲等5家全球前20大半导体制造商采购。甫于2005年四月上市的Pureline晶圆探针系统,让半导体制造商在因应今日严格的应用要求时,能对最新一代集成电路(IC)进行模型化、特性分析及测试,这些应用包含先进逻辑及内存组件、对噪声敏感的无线RFIC,以及有极端温度特性的车装IC。
相较于以往,新一代先进IC的电路部件更趋小型化与密集化,并且工作于相当低的电流及电压位准,如此,要进行精确测试却不产生外部干扰已变得越来越困难,这些部件对于从无线组件所散发出来的射频干扰(RFI)、及从设施和实验室设备所传导出的低频率电磁干扰(EMI)、及前代IC较少关注的温度变化,均具有极度敏感性,为使这些新组件能更适当地运作,噪声、功率散失以及工作电压均需降至最低,而在Pureline问世以前,并无有效的方式可针对这些新的严苛要求测试这些新的ICs。
Pureline晶圆探针系统提供满足新一代组件所需求的测试能力Cascade Microtech的Pureline产品线,包含提供组件特性分析及模型化、晶圆层级可靠度及提升良率之卓越的低位准、on-wafer量测能力之工具,Pureline系统之主要整合功能,包括用以降低EMI、RFI干扰的MicroChamber晶圆屏蔽包覆、用以降低杂散电容和噪声的AttoGuard主动保护、用以抑制噪声注入的低噪声三轴热基座、以及用以提升宽带传输旁通的低阻抗接地端。Pureline是为了提供可免除电子背景传输的量测而设计,其能在越趋敏感的半导体组件中,达到精确的低位准量测。