Veeco(威科)今天宣佈推出TurboDisc EPIK700氮化鎵(GaN)有機金屬化學氣相沉積(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;MOCVD)系統,以低運作成本結合業界最高生產效率和優異的良率,有效降低LED製造成本,帶動一般照明應用。
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EPIK700 MOCVD系統採用Veeco成熟的TurboDisc技術,擁有業界最大型的長晶爐,其產能為目前長晶爐的2倍以上。這款全新系統不僅增加了容量,同時在長晶爐內提供全新均勻性和先進的生產功能,其處理量是前一代長晶爐的2.5倍。
Veeco執行副總裁William J. Miller博士表示:「EPIK700是我們的最新力作,這款優異的系統擁有先進技術的MOCVD長晶爐。它可進一步降低LED製造成本,同時能提升生產效率,協助客戶在固態照明市場成功達成目標。」
Veeco在2010年推出TurboDisc K465i GaN MOCVD系統以來,即持續為其客戶降低擁有成本,成為全球領先的MOCVD設備供應商。Veeco並於2011年推出業界首款多長晶爐MOCVD系統,也就是備受好評的TurboDisc MaxBright MOCVD系統。此外,自2011年至2013年, Veeco的MOCVD TurboDisc技術每年都獲得LED產業協會肯定為業界最佳技術。
Veeco MOCVD事業部資深副總裁暨總經理Jim Jenson表示:「EPIK700再次為LED產業帶來革命性的創新,顛覆業者既有的做法。除了提供更高的產能和產量外,全新系統的長晶爐擁有多項獨家技術,可增加波長的均勻性,為客戶在更小的bin誤差範圍內提升生產率。此系統結合眾多優點,包括先進TurboDisc長晶爐設計、通過驗證的自動化技術、更高的生產力、低損耗成本和節省空間等,為客戶大幅降低了設備的持有成本。」
根據最近的IHS研究報告顯示,在中國、日本、北美和歐洲等主要市場預期LED的佔有率到2016年可達15%,而到了2020年時其佔有率可望加倍成長至40%。