Advanced Energy宣布推出电浆电源供应器系列新款产品,这款全新的10kW脉冲直流电源供应器除了具有电源和控制功能,而且还预装PowerInsight by Advanced Energy这套嵌入式制程优化程式。这款 Ascent SMS AP (先进脉冲) 电源供应器配备已注册专利的脉冲技术,成功将优化的电弧管理和精确的电浆电源控制功能引进到技术要求极为严格的薄膜沉积应用之中,其中包括半导体以至太阳能光伏电池生产等方面的应用。
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Ascent SMS AP电源供应器具有先进脉冲和电浆电源控制、高效的电弧管理功能,并内建制程特性分析功能,能透过配置优化产量和生产良率。 |
这款10kW Ascent SMS AP 电源供应器的外型小巧,但其安全工作区(SOA)范围极为宽广,例如峰值电压高达1200V,而频率则介於0.5至150kHz之间。这款电源供应器的渐进式电弧管理系统共有4个不同的单元,而且可支援全范围逆向电压作业,所储存的电弧能量最少,而且所提供的电弧叁数均可自我调节,让有关叁数可以按照制程步伐灵活调节。其中输出的先进脉冲(AP)波形可以支援升压、逆向电压控制以及先进脉冲整形等功能,以便因应薄膜型态和要求的薄膜特性实现波形的微调。
Advanced Energy 电浆电源产品资深行销总监 Dhaval Dhayatkar 表示:「Advanced Energy 将会继续致力於提升脉冲直流电源供应器的效能,确保这系列产品适用於单一磁控溅镀方面的应用,而且还有旧式产品所无的适应能力。这款全新的10kW Ascent SMS AP 电源供应器充分利用 Advanced Energy 的许多尖端技术,其中包括可高度配置的波形、渐进式电弧管理、优於同级产品的安全工作区(SOA)范围、宽广的频率范围、以及自有PowerInsight 制程优化软体,让客户可将先进半导体制程技术的精准度、可重复性和生产良率提升至最高的水平。」
这款全新的电源产品是 Advanced Energy 首款预装了 PowerInsight 制程特性分析应用程式和相关优化软体的电源供应器。这套PowerInsight软体可搜集、分析和转译来自关键??电系统的资料,让用户可利用这些极为实用的资料优化制程,以提升产量和生产良率,以及减少无法预测的制程设备故障停机时间。由於 Advanced Energy 这系列脉冲直流电源供应器内建 PowerInsight 软体,因此可减少出现电弧的次数,并可提高沉积率,改善薄膜层的形态和特性。
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