石英晶体组件厂商Epson Toyocom公司,已开发出高性能的小型石英式大气压力传感器。新传感器采用QMEMS技术支持特殊原创的压力感测结构,体积仅12.5 cc,重量仅15 g,却能精确至10 Pa或约1/10,000 bar之内,且拥有0.1 Pa的分辨率。此项全新开发的产品,预计于2009会计年度完成商品化。Epson Toyocom将于2008年九月30日于日本幕张举办的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公开此一技术,并随后在十月7日开幕的台北国际电子展(TAITRONICS 2008)于台湾爱普生科技摊位(K006)展出。
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Epson Toyocom推出采用QMEMS技术支持特殊原创的压力感测结构的石英式大气压力传感器 |
过往,压力传感器大多为了能有精巧的外型而犠牲其性能。因此,需要高效能的应用装置往往必须采用较大的结构。然而,Epson Toyocom的新型石英式压力传感器却能在极小的封装产品中,同时提供高准确度和高分辨率,这都要归功于英叉式(tuning-fork)石英晶体单元作为压力感测组件所提供的极稳定振荡频率,以及QMEMS技术最新开发的原创压力感测结构。
新型压力传感器的效能与特色将为装置设计人员带来相当大的帮助,可缩减装置外型尺寸,并大幅提升各种气象及安全性应用装置的效能。这些应用将包含在气象观察中准确测量大气压力的应用装置、藉由大气压力变化测量高度差异(大约每增加1 cm)的应用装置、侦测因内部门窗开关所造成之内部压力轻微变化的应用装置。