随着半导体产业不断寻求朝20/14奈米制程发展之际,电子验证测试产业-iST宜特科技在材料分析不缺席。iST宜特今(5月12号)宣布除了布建目前业界EDS元素分析能力最强的TEM设备:JEM-2800外,更和成大微奈米中心进行材料分析技术开发合作,同时聘请该中心副研究员、国内顶尖TEM权威-鲍忠兴博士担任顾问,设备与技术能量一次到位。
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左图为宜特分析市面上最先进之「22奈米三维晶体管」的高解析TEM影像;右图则为分析「LED磊晶结构」之高解析TEM及EDS影像。 |
即日起,iST宜特更采全天候三班制24小时运作,全面缩短交期,大跃进产能,展现冲刺材料分析的决心,提供客户最快速且高端材料分析服务。
为了回馈长期以来支持iST宜特的客户,即日起至6月底以前,只要来宜特委案TEM上机观察分析服务,即享半价优惠。
iST宜特观察发现,企业为了打造效能更高、功耗更低、体积更小的半导体组件以满足现今智能产品之需求,各大厂在先进制程开发的脚步越来越快,包括Intel率先进入22奈米制程量产、台积电与三星陆续进入20奈米量产,而联电则从28奈米跳过20,直接研发14奈米制程。
iST宜特材料分析经理 陈声宇博士说明,先进半导体制程的开发是否到位,材料之结构与元素分析能力往往是关键,尤其当制程进入28奈米以下世代,许多传统分析仪器将面临瓶颈,此时可达原子级分辨率的TEM将是分析上的唯一解决案。
除了在半导体产业的应用外,材料分析在LED产业亦扮演重要角色,决定LED发光特性最关键的磊晶制程,就必须高度仰赖TEM来控制制程参数。
陈声宇进一步指出,在TEM各种应用中,近年来又以EDS元素分析需求最为强劲。iST宜特近期导入JEOL最高阶的JEM-2800 TEM设备。同时配置有2颗100平方毫米的超大面积EDS侦测器,讯号接收总面积高达200平方毫米,效能远超过业界先前最高阶机型(其讯号收集面积为120平方毫米),将会是客户在面临制程问题时的最好帮手。
「目前宜特已陆续完成各产业客户,包括知名晶圆厂与LED磊晶厂的分析试样,突破至14奈米制程,客户对结果相当满意。」陈声宇表示。
宜特科技董事长 余维斌表示,宜特整兵备战,积极拓展材料分析战线,致力追求更先进的制程验证能力,昂首阔步为客户可能有的需求做好准备,成为客户迎向成功的最重要伙伴。