五月中，张忠谋面对台机电股东的质询，以不耐又幽默的口吻要信仰宗教的人以宗教力量让老天下雨，好让可能因此停摆的晶圆制造业可以顺利进行。老天真的能用水解决大量工业用水问题吗？

一般而言，每片八吋晶圆所消耗的纯水制程中约介于2.0M/片~2.5M片之间，即纯水的消耗量约在2.000 M/天至2.500M/天之间，这还不包括将水质纯化的含量，其中水处理系统用水量落差高达30﹪（约在45﹪~75﹪间）显示工业用水节约之经济效益，若再加上废气洗涤用水，酸简中和用水实在不可小覤。

一座月产三万片晶圆之八吋晶圆厂，制程后其用水量可达700M/天，用水之巨更值得深思，政府在五月间亦颁行法令奖励半导体制造业者以回收的形式善用水资源。不过这条政令的「回收85﹪」对制造晶圆过程中那个部份可做大量回收，原始估量水的标准，以及是否了解业者对水资源需求和成本的考量等都出现了极大的争议，无法全盘摸熟产业生态的政策，常常让业者啼笑皆非，招致无法推行命运，这次的水政，恐怕也将只有「精神上」服从的结果。

其实水荒问题除了可以在老天爷开源一途之外也可另做规划，交大教授赵天王博士就指出，除了从制程中节约，回收水源以外，可在制造的一开始就利用酸碱溶剂的特性，使之更加简便，并用省去来回冲洗的手续，大幅降低人力物力，更珍惜水资源。

另一方面，业者千万不要抱持「勿以恶小而为之」的心态，让机台因此有损耗水资源的嫌疑，制程中F、R槽的水可以全部回收，并做分类，如此一来方可达到最大回收量及减少废水成本的功效；或再者针对F、R槽内的Wafer清洗时间更加留意，将能有助改善大量用水的困扰。

俗话说「天助自助」注意水资源的运用，和等天下雨一样重要，若是能多花一份心力，将可发现福气就是这样珍惜来的！