汽車電子是全球半導體市場中最受追捧的應用市場之一,汽車技術創新是影響汽車差異化和消費者購車的最重要因素。微機電系統(MEMS)也因此成為汽車市場成長最快的半導體晶片之一,其中,加速度計、陀螺儀和壓力感測器占百分比最大。
MEMS在汽車市場的新應用
相較於IC技術只利用矽的電性質,MEMS則利用矽的電和機械兩種性質。MEMS的核心結構不是閘極-源極,而是完全由矽製成的微型機械結構。這些結構包括能夠移動的質塊、彈簧、腔室、阻尼器等。......