因应半导体前端制程中的晶粒微小化、封装制程晶片堆叠复杂化与PCB板上的更高元件密度等，带动了电子半导体业高速发展，以及在量测与运动平台更高精度、性能的需求。海德汉公司在近期推出的MULTI-DOF量测技术与VULCANO2运动平台，为客户提供了一个在打造完美极致运动系统上独特且卓越的解决方案，既满足客户对於提升精密运动控制的严苛要求，也有助於增加生产效率及稳定性。

海德汉公司在今年SEMICON摊位上(K2870)推荐的MULTI-DOF量测技术与VULCANO2运动平台，强调能为客户提供解决方案，既满足客户对於提升精密运动控制的严苛要求，也有助於增加生产效率及稳定性。

其中VULCANO2为一款具有创新设计概念，并搭载知名ETEL铁心式马达与高阶光学尺的龙门堆叠式多轴运动系统，能满足客户精密运动控制的高要求，尤其适用於晶圆检测制程中微影堆叠量测、关键尺寸量测、薄膜量测及後段大尺寸覆晶制程等应用。

该平台不仅占地面积更少，同时允许2.5g高加减速度、最高速度达1.2m/s；双向重复精度±250nm、奈米级定位稳定性±2nm；且其负载可达80kg，在动态特性、几何与运动性能方面均有显着提升；符合ISO2级无尘室规范，搭配QuiET主动式制振平台，更可大幅增强运动性能。基於海德汉「让设备开发者更容易切入高阶半导体应用」的设计核心理念，可在性能上满足来自不同市场及对高动态性能的要求；优异的结构设计，使之於降低总持有成本方面出类拔萃。

针对要求更高产能、工作周期、荷重，又不致影响平台重现精度的客户需求，标准版或客制版的VULCANO2绝对是满足其需求的不二选择；即使对於动态特性、工作周期、负载没有要求，但要求超长时间定位精度稳定性的客户们来说，VULCANO2也绝对是最隹解决方案。来自ETEL的新运动平台，能让长时间保持微米等级的导航精度得以美梦成真。

QuiET则是全新的主动式制振平台，强调能消除来自地板或运动平台本身6个自由度方向的振动，并可实现99%前??精度表现。海德汉表示，目前ETEL为市场上唯一能同时提供主动式制振平台和运动平台的厂商，经过上下使用同一套ETEL AccurET控制器，进行最即时的制振控制，以及导入来自ETEL的完整解决方案，给予客户一个最有效率的技术支援，降低供应商管理，或与不同产品整合成本支出的机会。

此外，海德汉认为，目前兼顾轴向精度与动态特性是非常重要的议题，但仅对编码器做最隹化调适尚不足以完成此目标。对机台精度与动态特性要求越严苛，机械几何精度与热变位影响就越显得格外重要，使用来自海德汉的多维度编码器LIP 6000 Dplus，则可以直接量测甚至补正这些变因。

该编码器LIP 6000 Dplus系采取绕射式光学量测原理，拥有高解析度（?172 pm）、高精度（X方向±3μm / Y方向±20μm）、极低讯号误差（± 5 nm）、极低RMS杂讯（0.5nm）的表现。於读头使用新一代HSP1.0讯号处理单元，以确保能长时间稳定提供高效能表现；尺身采用两列式鱼骨状刻度，可以对全行程主要及次要轴向，直接进行高精度量测，且同时对两轴向执行回原点。

「一般来说，当业者需要搭配多个读头进行多自由度量测，采用LIP 6000 Dplus，就可以轻松降低需要的读头数量。」海德汉进一步指出，目前业者使用Dplus编码器已可以完成在主平面上最多量测三个自由度，惟若要进行更多自由度量测时，还须要在第二平面上安装编码器，使系统设计变得非常复杂。

反之，搭配使用海德汉GAP1081，则可轻松在主平面上实现更多自由度的量测，降低系统复杂度并节省占地空间。透过Dplus编码器搭配GAP1081及MULTI-DOF量测技术的应用，就能轻松实现多自由度量测。

海德汉於今年SEMICON TAIWAN将展示集团一系列的高精度产品，包含ETEL精密运动平台、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺，现场将呈现高性能与高产能完美并存的解决方案，欢迎莅临海德汉摊位K2870指导叁观。