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Ⅲ/Ⅴ族芯片厂将成立联盟
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2001年11月23日 星期五

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廿二日于首届Ⅲ/Ⅴ族半导体策略论坛中,产官学界首度达成一致共识,将以现有Ⅲ/Ⅴ族芯片制造厂为主体成立联盟,并与既有IC半导体相关业者整合组成「Ⅲ/Ⅴ族制程设备旗舰公司」,负责提供芯片制造厂所需生产设备;未来联盟将会以无线通信组件为基础,发展为通讯(无线与光通讯)、奈米、微机电与生物芯片的共同平台,并有意以磷化铟(InP)制程为优先研发考虑。

首届Ⅲ/Ⅴ族半导体策略论坛中,包括经济部技术处与国内所有Ⅲ/Ⅴ族半导体晶圆代工厂,已就相关制程设备自主化达成共识。未来前段晶圆生产设备的部份,将以改善现有制程技术瓶颈(如晶圆薄化)为优先,进而研究可取代现有昂贵却不易掌控的新制程(如分离Demounting)等。

在后段封装设备方面,则将配合Ⅲ/Ⅴ晶圆高密度及薄形化的趋势,发展微小薄形芯片(Die)的覆晶构装设备,而由于目前Ⅲ/Ⅴ设备的自动化程度仍只有近七○%,因此发展自动化机械界面也是业界人士共同心声。经济部技术处于会末并具体的将晶背制程设备、金薄膜电镀设备、干蚀刻机与晶圆薄化设备等近二十个项目列为优先发展项目。

關鍵字: Ⅲ/Ⅴ族制程设计 
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