「晶圆隔离进出料技术」(Standard Mechanical Interface;SMIF)与传统洁净室生产的方式相较，最大的不同在于「将生产设备置于洁净室(Cleanroom)内」的观念转换成「将洁净室置于生产设备内」，主要包括3个技术要项：晶圆盒(POD)、SMIF I/O及迷你洁净环境。

目前所有SMIF接口设备产品皆为国外产制，不仅售价高昂，且交货期长，因此使用SMIF技术之晶圆厂，莫不寻求国内设备供应的可行性。有鉴于SMIF设备在全世界有庞大市场，工研院机械所在经济部科技项目支持下全力开发自主的SMIF设备技术，目前已经成功开发出8吋晶圆盒，在台湾、美国、日本、大陆、德国、英国、新加坡等国获得9项专利。另外并开发4项产品技术：SMIF晶圆加载机、SMIF晶圆传送臂、SMIF惰性气体充填机、批货ID辨识读取模块。机械所已协助移转厂商亿尚公司通过茂德供货商稽核手续，成为该公司晶圆盒合格供货商，每月可量产1000个以上。亿尚公司目前积极扩建厂房及兴建无尘室，预计明年可完工，正式投入晶圆盒生产制作。本技术的成功除了建立自主性的SMIF技术，对促成国内新兴高科技产业之创立也有相当贡献。