研究机构VLSI最新报告指出，由于全球半导体设备供应商因应景气低迷所执行的撙节成本动作，使得半导体设备商的客户服务满意度呈现下跌现象；以VLSI所调查的服务满意度满分10点计算，2003年全球半导体设备供应商所得评分，平均较2002年下跌0.21点。

根据SBN网站引述VLSI报告指出，半导体设备商客户服务满意度较高的为ASML、Credence、Dainippon Screen、Hitachi、Schlumberger Verification Systems、Tegal以及TEL，而满意度低的则包括Axcelis、Disco、Ebara、尼康（Nikon）以及Universal Instruments；同时，根据VLSI指出，就整体客户服务满意度而言，晶圆设备供应商的表现远较往年来得差。

Hitachi与Tegal在VLSI的调查当中，名列客户服务满意度的榜首，日本厂商Hitachi在VLSI调查中，占据大型设备供应商满意度的第一名，而以专门性设备供应商满意度而言，美国厂商Tegal则名列第一。根据VLSI指出，专门性设备供应商在客户服务满意度方面，一般而言得到较高的评分，由于该公司规模较小、且专注于特定设备产品，使得专门性设备供应商具有竞争的优势，也因此在对客户提供服务时，远较大型半导体设备供应商更能切中客户所需。

在几个主要半导体设备产品领域（晶圆制程设备、测试与材料设备、组装设备）方面，客户服务满意度高的厂商主要分布在美国，占42.6％，其次是欧洲厂商，占31.9％，再来是日本厂商，占了25.5％；此外，客户服务满意度排名前20名的设备供应商，有四成是美国厂商，而欧洲厂商与日本厂商各分居三成。