因應半導體前端製程中的晶粒微小化、封裝製程晶片堆疊複雜化與PCB板上的更高元件密度等，帶動了電子半導體業高速發展，以及在量測與運動平台更高精度、性能的需求。海德漢公司在近期推出的MULTI-DOF量測技術與VULCANO2運動平台，為客戶提供了一個在打造完美極致運動系統上獨特且卓越的解決方案，既滿足客戶對於提升精密運動控制的嚴苛要求，也有助於增加生產效率及穩定性。

海德漢公司在今年SEMICON攤位上(K2870)推薦的MULTI-DOF量測技術與VULCANO2運動平台，強調能為客戶提供解決方案，既滿足客戶對於提升精密運動控制的嚴苛要求，也有助於增加生產效率及穩定性。

其中VULCANO2為一款具有創新設計概念，並搭載知名ETEL鐵心式馬達與高階光學尺的龍門堆疊式多軸運動系統，能滿足客戶精密運動控制的高要求，尤其適用於晶圓檢測製程中微影堆疊量測、關鍵尺寸量測、薄膜量測及後段大尺寸覆晶製程等應用。

該平台不僅佔地面積更少，同時允許2.5g高加減速度、最高速度達1.2m/s；雙向重複精度±250nm、奈米級定位穩定性±2nm；且其負載可達80kg，在動態特性、幾何與運動性能方面均有顯著提升；符合ISO2級無塵室規範，搭配QuiET主動式制振平台，更可大幅增強運動性能。基於海德漢「讓設備開發者更容易切入高階半導體應用」的設計核心理念，可在性能上滿足來自不同市場及對高動態性能的要求；優異的結構設計，使之於降低總持有成本方面出類拔萃。

針對要求更高產能、工作週期、荷重，又不致影響平台重現精度的客戶需求，標準版或客製版的VULCANO2絕對是滿足其需求的不二選擇；即使對於動態特性、工作週期、負載沒有要求，但要求超長時間定位精度穩定性的客戶們來說，VULCANO2也絕對是最佳解決方案。來自ETEL的新運動平台，能讓長時間保持微米等級的導航精度得以美夢成真。

QuiET則是全新的主動式制振平台，強調能消除來自地板或運動平台本身6個自由度方向的振動，並可實現99%前饋精度表現。海德漢表示，目前ETEL為市場上唯一能同時提供主動式制振平台和運動平台的廠商，經過上下使用同一套ETEL AccurET控制器，進行最即時的制振控制，以及導入來自ETEL的完整解決方案，給予客戶一個最有效率的技術支援，降低供應商管理，或與不同產品整合成本支出的機會。

此外，海德漢認為，目前兼顧軸向精度與動態特性是非常重要的議題，但僅對編碼器做最佳化調適尚不足以完成此目標。對機台精度與動態特性要求越嚴苛，機械幾何精度與熱變位影響就越顯得格外重要，使用來自海德漢的多維度編碼器LIP 6000 Dplus，則可以直接量測甚至補正這些變因。

該編碼器LIP 6000 Dplus係採取繞射式光學量測原理，擁有高解析度（?172 pm）、高精度（X方向±3μm / Y方向±20μm）、極低訊號誤差（± 5 nm）、極低RMS雜訊（0.5nm）的表現。於讀頭使用新一代HSP1.0訊號處理單元，以確保能長時間穩定提供高效能表現；尺身採用兩列式魚骨狀刻度，可以對全行程主要及次要軸向，直接進行高精度量測，且同時對兩軸向執行回原點。

「一般來說，當業者需要搭配多個讀頭進行多自由度量測，採用LIP 6000 Dplus，就可以輕鬆降低需要的讀頭數量。」海德漢進一步指出，目前業者使用Dplus編碼器已可以完成在主平面上最多量測三個自由度，惟若要進行更多自由度量測時，還須要在第二平面上安裝編碼器，使系統設計變得非常複雜。

反之，搭配使用海德漢GAP1081，則可輕鬆在主平面上實現更多自由度的量測，降低系統複雜度並節省占地空間。透過Dplus編碼器搭配GAP1081及MULTI-DOF量測技術的應用，就能輕鬆實現多自由度量測。

海德漢於今年SEMICON TAIWAN將展示集團一系列的高精度產品，包含ETEL精密運動平台、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺，現場將呈現高性能與高產能完美並存的解決方案，歡迎蒞臨海德漢攤位K2870指導參觀。