致茂电子今年於SEMICON Taiwan将会实机展出SuperSizer溶液奈米粒子监测系统，现场可亲自体验鹰眼级的测试设备。

半导体制程技术以极快的速度进步到10奈米、7奈米线宽，在不久的将来更将到5奈米甚至於3奈米。影响制程良率甚钜的奈米粒子监控技术现有技术只能勉强监控大於20奈米的粒子，远远不及产线需求。

致茂集团旗下的兆唼奈米科技推出制程良率改善利器SuperSizer奈米粒子监测系统，提供客户对制程液体里小於20奈米的粒子大小及分布，并具有24小时即时监控的能力，能有效防范奈米缺陷形成於未然，大幅改善良率。