VICTREXPEEK聚合物、VICOTE涂料和APTIV薄膜等高性能材料的制造商英国威格斯公司(Victrex plc)宣布，以VICTREX PEEK聚合物为基础的VICOTE涂料已获得光电、半导体设备制造商擎邦国际科技采用，应用于2”,8” , 12”以上晶圆与LCD面板的中大型/DIP/SPIN设备系列上。VICOTE 804 BLK所具有的优异耐化学性、耐高温性与绝佳的附着性成功地取代旧有的PTFE涂层。VICOTE涂料可减少涂布机在显影、蚀刻与去光阻制程中所产生的发尘量，不但可延长设备使用寿命与减少设备维修需求，更可大幅提升晶圆与LCD面板的生产效率与制程良率。

Victrex的VICOTE涂料获擎邦涂布机系列采用

无论半导体或LCD制程，黄光微影是最关键也是最困难的步骤。光阻剂、蚀刻液与显影液需透过SPIN/DIP方式，才可以在晶圆与玻璃基板面板完成制造(fabrication)。面对高酸碱化学物质与高温等极为严苛的制程环境，设备的稳定与均匀性直接影响着晶圆与LCD面板的成品良率。

擎邦无尘室事业部厂长黄可强表示：『以终端用户的角度来想，采用VICOTE涂料可减少设备维修需求与停工时间，进而提升晶圆与LCD面板的生产效率与制程良率。之前所采用的PTFE在经过显影、蚀刻与去光阻制程中的冷热循环过程、高酸碱化学物质以及高温环境，PTFE涂层容易掉落而导致涂布机需经常停机更新表面涂层。自从换成VICOTE涂料后，目前都还没接到维修需求。目前适用于8吋以上晶圆与LCD面板的中大型涂布机系列都已采用VICOTE涂料。』