「晶圓隔離進出料技術」(Standard Mechanical Interface;SMIF)與傳統潔淨室生產的方式相較，最大的不同在於「將生產設備置於潔淨室(Cleanroom)內」的觀念轉換成「將潔淨室置於生產設備內」，主要包括3個技術要項：晶圓盒(POD)、SMIF I/O及迷你潔淨環境。

目前所有SMIF介面設備產品皆為國外產製，不僅售價高昂，且交貨期長，因此使用SMIF技術之晶圓廠，莫不尋求國內設備供應的可行性。有鑒於SMIF設備在全世界有龐大市場，工研院機械所在經濟部科技專案支援下全力開發自主的SMIF設備技術，目前已經成功開發出8吋晶圓盒，在台灣、美國、日本、大陸、德國、英國、新加坡等國獲得9項專利。另外並開發4項產品技術：SMIF晶圓載入機、SMIF晶圓傳送臂、SMIF惰性氣體充填機、批貨ID辨識讀取模組。機械所已協助移轉廠商億尚公司通過茂德供應商稽核手續，成為該公司晶圓盒合格供應商，每月可量產1000個以上。億尚公司目前積極擴建廠房及興建無塵室，預計明年可完工，正式投入晶圓盒生產製作。本技術的成功除了建立自主性的SMIF技術，對促成國內新興高科技產業之創立也有相當貢獻。