基恩斯(KEYENCE)独家流量传感器检测技术,利用法拉第电磁感应的FD-M系列,实现无支柱、无叶片、无电极的「完全贯通结构」。不同于一般的浮子式或叶片式装置,内管完全没有可动部位与障碍物,因此不会发生灰尘或铁锈等阻塞机构的问题,也不会造成轴磨损等机械磨耗,不仅能大幅减少维护工时,使用寿命也可大大增加。传统电极式装置只要电极上附着绝缘物质就会容易造成感应不良,而FD-M系列原本在全贯穿内管就没有电极,因此即使附着绝缘物质也可以稳定检测,而其能实现近乎零压损的设计,不会对泵浦造成负担,也可更加节能。
另外,传统上难以量测的喷洒、涂布量确认等短时间内的液体流量,则可透过反应时间最快只需50ms的科氏力数字流量传感器FD-S系列来完成,除了反应速度快,更可检测世界最小流量0.1mL!量测一秒钟滴落一滴水滴、或量测一次性喷出的微少离型剂喷雾这种微小流量,另外也能以高精度检测油或纯水等非导电性的液体。
有各种成功改善现场制程的案例,皆是因为导入KEYENCE的流量计。例如液晶玻璃清洗液的供给量管理、CMP浆体的流量管理、精密模具的冷却水管理等许多的成功应用。