VICTREX PEEK聚合物、VICOTE涂料和APTIV薄膜等高性能材料的全球制造商英国威格斯公司(Victrex plc)宣布，将于台湾半导体设备暨材料展(SEMICON Taiwan 2008)发表其应用于半导体产业的产品与技术成果。展出内容包括特别为半导体产业所开发的VICTREX T-系列、VICTREX ESD PEEK产品以及与多家半导体零部件/设备制造商合力开发的多款基于VICTREX PEEK的高阶半导体应用。

为更贴近顾客的需求与因应产业内日益严苛的作业环境所带来的挑战，威格斯特别推出两款符合半导体产业对材料要求的新型产品。VICTREX T-系列聚合物(TF-60C)，以VICTREX PEEK、Celazole PBI以及碳纤维强化技术所生产的专有产品。这款新型的碳纤维产品具有高强度、高模数、低潜变等优异特性，特别适用于要求极为严苛的半导体/电子产业应用，如旋转涂布(Spin coating)、蚀刻(etching)及PVD制程中的焊接工具、卡匣、晶圆输送以及泵浦组件等。另外，静电产生是半导体制程中出现的主要问题之一，对晶圆制程良率有直接的影响。除了基本的耐磨耗性、超高纯度、高耐热性、耐化学性以及尺寸稳定性，VICTREX ESD PEEK特别添加抗静电配方，可大幅减少摩擦产生的静电进而避免造成电路损坏。产品系列包括 ESD 101、ESD 102、ESD 103以及ESD 201，表面阻抗值皆为106至109 ohm/sq，可依对于耐磨耗性、吸湿性与气体释放(outgassing)特性的不同要求选择适用的产品。