2002及2003年的台灣旱象,一場反聖嬰現象的災難,仿若世紀初的地球氣候亂象,不但民生用水漸漸不足,就連台灣的經濟命脈-科技產業也要叫苦連天了。水,看似廉價品,當乾旱來臨時,更彰顯出其珍貴處。尤其對業界而言,無水,製程又如何繼續呢?
那麼,水對科技業界有何用途?以晶圓廠為例,在所有的製程中,以爐管、蝕刻的需水量最大;由於製程中的晶圓需要大量的純水清洗雜質,光在爐管與蝕刻等製程,所需的超純水水量約佔總水量的60%~80%。進入奈米製程後,製程需水量更是有增無減,然而用水規格高,普遍而言,目前大部分的純化系統都不敷使用。
就目前二大需水量大的產業-半導體業與TFT-LCD研究,根據水利署資料顯示,2002年半導體業一天用水量為9.3萬噸,TFT-LCD業的一天用水量為6萬噸;2006年時,國內半導體業用水量將成長為一天16.5萬噸,而TFT-LCD業成長幅度更大,一天即達22.8萬噸。
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