銅導線材

在半導體技術發展初期的50年代，主要是以鍺元素為材料，不過鍺元素的耐高溫性不足、抗輻射能力差，以致在60年代後逐漸由矽元素取代其地位，矽在抗熱、抗輻射等表現上都優於鍺，適合用來製做大功率的積體電路。

到了近年來，隨著製程技術的不斷細密化，到了0.25um以下，積體電路在線路上的電阻電容延遲（RC-Delay）效應已增大到成為問題，使線路信號難以更快速傳遞，亦即電晶體導通、關閉的速率難以更快，並且線路間的串音雜訊干擾（Cross Talk Noise）也增加，這些問題約在時脈近1GHz時就會產生。
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