[SEMICON Taiwan] Renishaw精密量測引領半導體製程革新

全球精密工程與科學技術領導品牌 Renishaw 將於9月10日至12日參加SEMICON Taiwan國際半導體展，於南港展覽館二館四樓 S7458 攤位磅礡登場。本次以「Precision at every stage of semiconductor innovation」為核心主張，重點呈現三大精密量測技術：聚焦高階設備應用的「多自由度 (MDOF)」運動控制編碼器、能同時檢測「六個自由度 (6DOF)」的雷射校正系統，以及用於半導體材料分析的光譜儀，提供客製化量測解決方案，協助半導體製程邁向更高的精度與良率。

圖一 : 圖一為Renishaw 光學尺讀頭系列，圖二為在線性平台上的XM-60多光束校正儀

任何設備或運動系統在設計與實際運作之間都可能產生自由度誤差。因此，如何高效率的量測並校正這些誤差 - 尤其對於要求高精度的半導體設備—更是關係到製程能否有效提升的關鍵。

為此，Renishaw針對此挑戰提供一系列具關鍵優勢的量測技術，包括：
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