近幾年半導體中國大陸市場快速發展，加上中國大陸政府計畫性發展半導體產業，使得大陸半導體產業快速發展，市場需求不斷增加，目前大陸官方統計中國大陸半導體市場約佔全球需求量的6％，僅次於美、日與台灣。

根據CCID對中國大陸30主要積體電路企業的調查統計資料，2001年中國大陸在積體電路的總產量為44.1億顆，總銷售額98.4億人民幣。未來的兩至三年內，上海、北京、深圳等地正在興建多座晶圓廠，預估中國大陸積體電路2005年總銷售額將達400億人民幣的規模，由於中國半導體業發展快速，群聚效應不但吸引全球與台灣業者搶進、中國本土的半導體產業也快速成長。

《圖一　2001～2005年中國大陸積體電路銷售情況》 資料來源：CCID；工研院經資中心ITIS計畫（2002/09）

看好大陸未來內需市場將持續成長，加上大陸官方「十五」計劃積極發展半導體產業，全球半導體廠商也積極在大陸進行佈局，目前外商之獨資廠或合資半導體廠，量產或動工的8吋晶圓廠約為十座，包括摩托羅拉天津廠、華虹NEC廠、中芯一廠及二廠、宏力、上海先進、貝嶺、蘇州和艦及台積電松江廠，幾乎全數為晶圓代工廠，台灣IC廠投資的無錫8吋晶圓廠也已動土，可望成為大陸第十座8吋晶圓廠。

由於廠商積極投資，預計於2002至2005年間在北京、上海兩地將新增加15～20條6～8吋晶圓生產線，因此也將創造龐大的設備需求。預估在此期間廠商總投資金額將高達200億美元，其中七至八成的投資金額將運用在半導體設備的採購，金額約達140億至160億美元。根據CCID資料指出，預估2002年至2005年大陸每年半導體設備市場平均需求為40億美元，隨著大陸晶圓廠設廠或擴廠投資持續增加，2003年大陸設備市場規模約為70億美元，2010年將有機會達到100億美元；如(圖一)。

另一方面若以計畫期間進行分析，根據大陸CCID 2002年市場資料，大陸「七五」計畫期間半導體設備市場為6.7億人民幣；「八五」計畫期間進入市場成長期為95.4億人民幣；在十五計畫期間，由於中國大陸加速發展半導體產業，主要外商半導體廠也看中大陸市場的未來成長力而大量投資設廠，使得中國大陸在「十五」計畫期間之設備需求高度成長，根據CCID預估，「十五」期間中國大陸的半導體設備市場將會達到1020億人民幣。

大陸半導體設備產業之發展歷程與現況

中國大陸半導體設備產業開始於1950年代末期，以中國原電子部系統下的2個研究所，14個直屬工廠及地方國營企業?主要研究發展機構。當時其範圍曾涉及半導體積體電路設備、電子元件及機電元件設備、電子真空設備、洗淨設備、專用模具等領域；參考(表一)。

在1960至1970時期中國大陸處於歐、美國家封鎖禁運之下，中國設備研發單位先後完成1.2μm和0.7μm線寬電子束曝光機，光學圖形產生器、600kev離子注入機等設備之研發，在當時中國大陸主要以自行研發方式發展其半導體積體電路產業。1980年代後期中國大陸實行改革開放政策，中國大陸陸續引進半導體相關設備，另外國外二手設備也不斷進口至大陸市場。

1991年中國大陸開始5吋2mm生產線關鍵設備的研發，這些設備與進口設備共同配合使用，並研發部份微細加工設備，於1996年前已逐步完成。目前大陸先進的曝光微影設備與蝕刻設備皆以進口設備為主，CVD設備則屬中國大陸自主發展較快的設備，北京建中與48所研製的設備LPCVD、Cluster-CVD已能滿足6吋0.5μm晶片製造的需求，由於其價格具競爭力，因此大陸國有企業已採用其設備外，一些大陸中大型半導體廠亦開始採用。中國大陸本土設備的銷售方面，根據大陸CCID的統計資料，1999年的半導體設備業者的銷售為8,783萬人民幣，2000年達到1.7億人民幣，2001年大陸本土設備銷售成長率達60％，銷售金額為2.8億人民幣。

《圖二　近年中國大陸半導體設備業者銷售市場狀況》 資料來源:CCID；工研院經資中心ITIS計畫（2002/07）

不過由於近兩年國際半導體製造大廠快速進入大陸市場，並進口半導體製造設備，對照之下大陸半導體製造設備競爭力較為不足，故大陸官方已陸續擬定計畫並提撥人民幣9億元，欲藉此提昇大陸業者發展半導體製程設備之能力。

2002年中國大陸科技部宣佈將進行總投資達200億人民幣的12個重大科技專項，其中「超大規模集成電路和軟件重大專項」中包含發展大陸半導體設備計畫，而全大陸10餘家設備企業參與的曝光設備研發項目也已展開，其中上海電氣集團負責主導0.1微米技術曝光設備發展計畫，此外刻蝕設備、離子注入設備也是目前中國大陸進行重點扶植的項目，並訂定發展半導體設備產業之目標、措施與獎助鼓勵辦法如下：

• (1)以科研單位?目標，集中力量選擇少量關鍵設備予與支援。根據主要設備大廠先進製程提升技術平臺。於「十五計畫」期間力爭8英吋0.5-0.35微米水平設備開發，並期望進入量產階段。





• (2)以現有IC生產線的改造為目標，將已開發成功的0.8-1微米，6英寸設備進行改進與量產。





• (3)以發展積體電路之外的其他半導體設備?目標，開發需求量較大技術含量適中的設備，提高市場佔有率。





• (4)給予一定的優惠與產業扶持政策，例如適當的減免稅收與鼓勵外商投資等。

台灣設備廠商之大陸佈局與商機

大陸半導體產業發展為全球所關注，在國內半導體廠商逐漸西進佈局下，設備廠商隨著客戶前往設立據點，以就近提供服務，並期望待大陸高科技產業經濟規模成型後，隨著大陸本土半導體業者或台商的投資，期望掌握商機進入市場並與市場共同成長。但如果目前台灣廠商沒有進入大陸卡位，這個位置將很快的被國際競爭廠商所取代，因此目前台灣設備廠商在大陸的投資可謂購買實質選擇權，以確保廠商將來可以繼續在大陸投資獲取更大之效益。

隨著國內廠商加強國外市場佈局，出口比率有逐漸上升的趨勢，其中大陸並於去年取代東南亞成為第一大設備出口地區。由於今年國內半導體廠商加強大陸佈局，多家設備業者也準備跟進至大陸蘇州、上海等地建立服務據點，預料出口大陸金額將會持續成長。目前已至大陸設廠廠商包括如均豪、基丞等業者，前段設備廠商倍強科技由於大陸業務成長比重增加，已開始計畫在上海地區設立服務據點，濕製程廠商弘塑科技並傳出與日商安內華在上海投資，設立安內華弘塑半導體設備有限公司。沛鑫半導體總部辦公室設於竹南地區，但其製造工廠並包括大陸崑山、龍華、蘇州等地與鴻海資源共享。此外，如安德越、華東半導體、崧展、鈦昇...等廠商2001年設備出口大陸金額成長幅度也都在一成以上。

《圖三　國內1998～2002年半導體前後段設備業者出口大陸金額》 資料來源：中華民國海關進出口資料庫；工研院經資中心ITIS計畫（2002/10）

由於大陸市場成長快速，就工研院經資中心（IEK）對於目前投資大陸的台資半導體廠商進行訪談的結果顯示，目前大陸的半導體通路體系已正逐漸佈建中，供應體系本土廠商約佔2成以下。但由於目前大陸廠商的品質體系尚未建立，對於設備、零組件的品質管制尚未達到應有水準，大陸台資半導體廠對於設備、零組件、耗材選用排序依次為：原廠產品、台灣產品、大陸產品，近期對於台灣設備、零組件廠商市場開拓，大陸之台資半導體廠的確會帶來新的商機。

面臨二手設備強力競爭

不過就大陸目前的設備需求分析，由於當地許多發展中的半導體廠大多生產低階產品，半導體設備商在目前的大陸市場面臨二手設備交貨期短、價格便宜的強力競爭，尤其近來景氣不佳，廠商大量釋出2000年購置卻閒置之產能設備，就設備性能上來說，這些二手設備仍為目前半導體生產的主流機種之一，也符合廠商的需求，其低價更是吸引資金有限的大陸業者。因此二手設備的競爭，的確也成為國內設備業者發展上的阻力之一。

此外就行銷發展上來分析，國內廠商由於規模較小，業者在市場開拓上也遭遇不小的挑戰。大陸市場成長快速，國內設備業者發展積極，然而大陸幅員廣大，客戶遍佈大江南北，國內設備廠商普遍屬中小型規模，使設備業在大陸設廠運作與行銷成本成為廠商發展的負擔，與國際設備大廠規模比較相差懸殊，成為國內業者發展之不利因素。

結語

目前國內也有許多半導體廠至大陸設立服務據點，不過礙於目前兩岸情勢，設備廠商無法由台灣據點直接為對岸客戶進行有效快速的服務，因此業者若要佈局大陸市場，一定要設立完整的服務與技術支援體系，必須付出較高的管理與交通費用，也增加零組件與模具運回台灣進行組裝的成本，對於目前許多中小體系的廠商發展來說是另一個較為不利之因素。

許多設備廠商有鑒於此，朝向與當地半導體通路廠商進行合作，然而卻也發現當地通路廠商良莠不齊。收款是大陸一直以來的問題，是對大陸半導體廠或通路業者來說，或多或少都存在的現象，而過去甚至發生委託大陸通路商銷售，在國內設備業者交機後，通路商即不見蹤影，而使國內業者蒙受很大的損失。因此，廠商如何在大陸佈建技術服務體系，或慎選當地半導體通路商共同合作，成為國內設備業者經營大陸市場的重要課題。