台积电今(26)日下午开放媒体参观南科6厂12吋晶圆生产线，台积电总经理曾繁城强调，12吋晶圆是台积电的重要目标，绝对不会因景气差而减缓开发计划，未来3~4年12吋产能的规划上一定会超越8吋晶圆。

陈水扁总统今日赴南科参观台积电6厂12吋生产线，下午台积电则特别开放洁净室，让媒体参观日前产出第1批0.13微米制程12吋晶圆的6厂12吋生产线。台积电表示，目前该厂8吋晶圆(6A)生产线月产能已达3万片，12吋也开始产出，由0.18微米铜制程切入，明年上半年随即进入0.13微米铜制程，未来产能规画为月产能4500片。