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电子所铜导线芯片封装技术造福厂商
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2001年07月08日 星期日

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由于目前半导体制程已经进入铜导线时代,因此属于后段作业的打线封装也有必要有新的技术因应,工研院电子所日前表示,该所已在铜导线芯片构装上有了新的突破性技术进展,此技术是在铜金属垫上利用无电解制程或金属溅镀制程上做出Cap Layer,即可让铜金属氧化情形杜绝,此项技术也已通过JEDEC的验证测试。

据了解,该项技术可以让我国数量在六千台左右的打线机,能够在此铜制程芯片上继续使用,我国封装产业大都是在铝制程芯片打金线,但是在进入铜导线时代,铜金属特性容易氧化,传统打线设备并不适用于铜金属垫上打金线,因此,电子所研究出以Cap Layer来隔绝铜金属使其不会产生氧化作用,此举不仅可让封装厂商可继续使用原有的打线设备,并可减少许多成本的开销。

關鍵字: 封装  銅製程  电子所 
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