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台积电12吋厂0.13微米制造技术良率达到水平
SRAM测试芯片亦有展获 与8吋晶圆的良率相当

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2001年10月22日 星期一

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台积电二十二日指出,该公司位于新竹科学园区的全规模十二吋晶圆厂,缔造了业界新纪录,率先以0.13微米全铜制程技术产出台积公司的SRAM测试芯片,并且已达到与相同制程八吋晶圆相当的高良率,再次成功地验证十二吋晶圆制造技术良率已达到生产水平。

台积电晶圆十二厂系业界第一座具备0.13微米十二吋晶圆生产技术的全规模十二吋晶圆厂。目前,已有一家客户的SRAM产品于晶圆十二厂开始投片生产。此外,也有多家客户已经排定时程,将利用晶圆十二厂的制造服务来生产其先进的0.13微米产品。各家客户的产品预计将于2002年第一季起陆续完成其产品质量相关认证。

台积电表示,台积电不仅自晶圆六厂的十二吋试产线成功地移转0.13微米全铜制程技术,更领先业界,证明其0.13微米十二吋晶圆制造技术的能力及良率已与八吋晶圆相当。此项能力及服务,可以满足客户先进产品对0.13微米的十二吋制程技术的需求,同时将可更进一步提升客户的竞争优势。

台积公司晶圆十二厂甫于今年8月份使用0.15微米十二吋晶圆制程技术成功试产出测试芯片及客户产品。如今,又迅速于2个月后成功验证0.13微米十二吋晶圆制造技术的高良率水平,再次彰显台积公司为客户提供最先进制程技术及服务的决心。

關鍵字: 12吋晶圓廠  台灣積體電路公司 
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