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台積電12吋廠0.13微米製造技術良率達到水準
SRAM測試晶片亦有展獲 與8吋晶圓的良率相當

【CTIMES/SmartAuto 陳瑩欣 報導】   2001年10月22日 星期一

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台積電二十二日指出,該公司位於新竹科學園區的全規模十二吋晶圓廠,締造了業界新紀錄,率先以0.13微米全銅製程技術產出台積公司的SRAM測試晶片,並且已達到與相同製程八吋晶圓相當的高良率,再次成功地驗證十二吋晶圓製造技術良率已達到生產水準。

台積電晶圓十二廠係業界第一座具備0.13微米十二吋晶圓生產技術的全規模十二吋晶圓廠。目前,已有一家客戶的SRAM產品於晶圓十二廠開始投片生產。此外,也有多家客戶已經排定時程,將利用晶圓十二廠的製造服務來生產其先進的0.13微米產品。各家客戶的產品預計將於2002年第一季起陸續完成其產品品質相關認證。

台積電表示,台積電不僅自晶圓六廠的十二吋試產線成功地移轉0.13微米全銅製程技術,更領先業界,證明其0.13微米十二吋晶圓製造技術的能力及良率已與八吋晶圓相當。此項能力及服務,可以滿足客戶先進產品對0.13微米的十二吋製程技術的需求,同時將可更進一步提昇客戶的競爭優勢。

台積公司晶圓十二廠甫於今年8月份使用0.15微米十二吋晶圓製程技術成功試產出測試晶片及客戶產品。如今,又迅速於2個月後成功驗證0.13微米十二吋晶圓製造技術的高良率水準,再次彰顯台積公司為客戶提供最先進製程技術及服務的決心。

關鍵字: 12吋晶圓廠  台灣積體電路公司 
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