对于8吋晶圆开放，经济部内部已逐渐形成共识：有条件解除八吋晶圆登陆禁令，在不违反「圣瓦讷协议」高科技管制下，同意0.25微米以上制程设备赴大陆投资。

为了解除外界开放8吋晶圆登陆，可能引发资金外流、排挤国内投资的疑虑，经济部内部研拟订定审查门坎。预期8吋晶圆产品项目即使在周四的产官学项目小组中获得通过登陆，公告生效时程也会延后，等待内部审查门坎订定完成。

经济部虽然已有腹案，但是处境仍是左右为难，业者开放8吋晶圆厂登陆的压力与日俱增，但来自民进党内部基本教义派的反对声浪大。官员说，国内目前制程技术已经到了 0.13 微米，因此，依循瓦圣纳协议允许 0.25 微米以上制程赴大陆投资，对国内影响不大。

有关官员也指出，半导体产业投资，金额虽然庞大，不过，从国内半导体业者的投资情况可以发现，国内业者投资的资金，来自自有资金比例仅二成，多数多是发行ADR或GDR，对国内资金排挤未如外界想象严重。