對於8吋晶圓開放，經濟部內部已逐漸形成共識：有條件解除八吋晶圓登陸禁令，在不違反「聖瓦納協定」高科技管制下，同意0.25微米以上製程設備赴大陸投資。

為了解除外界開放8吋晶圓登陸，可能引發資金外流、排擠國內投資的疑慮，經濟部內部研擬訂定審查門檻。預期8吋晶圓產品項目即使在周四的產官學專案小組中獲得通過登陸，公告生效時程也會延後，等待內部審查門檻訂定完成。

經濟部雖然已有腹案，但是處境仍是左右為難，業者開放8吋晶圓廠登陸的壓力與日俱增，但來自民進黨內部基本教義派的反對聲浪大。官員說，國內目前製程技術已經到了 0.13 微米，因此，依循瓦聖納協定允許 0.25 微米以上製程赴大陸投資，對國內影響不大。

有關官員也指出，半導體產業投資，金額雖然龐大，不過，從國內半導體業者的投資情況可以發現，國內業者投資的資金，來自自有資金比例僅二成，多數多是發行ADR或GDR，對國內資金排擠未如外界想像嚴重。