「晶圆厂赴大陆投资申请及审查作业要点」草案，未来将由经济部长召集「跨部会审查及监督小组」负责晶圆厂大陆投资的审查和追踪，但因相关配套措施尚未完备，预估7月底前台积电将不会提出八吋晶圆厂赴大陆投资申请。根据经济部规画，经济部将成立「跨部会审查及监督小组」负责审查和追踪管理八吋晶圆厂赴大陆投资，并由经济部长担任召集人，层级较投审会更高，为求审慎将来不排除针对晶圆厂西进颁行项目作业要点。

目前已知仅台积电表示要在今年七月提出申请，但因晶圆厂赴大陆投资须采直接投资，相关修法还未完成；同时，经济部和台积电对台积电十二吋晶圆厂是否已连续六个月进入基本量产，采认上有相当差距，双方仍在就十二吋晶圆厂的良率、成本和产值算进行磋商。

经济部在四月二十四日即公告开放八吋晶圆厂及相关产业赴大陆投资，但因相关配套措施尚未完成，至今未见厂商提出申请，经济部投审会最近虽完成「晶圆厂赴大陆投资申请及审查作业要点草案」，但是否要公告实施，相关单位尚无定论。