「晶圓廠赴大陸投資申請及審查作業要點」草案，未來將由經濟部長召集「跨部會審查及監督小組」負責晶圓廠大陸投資的審查和追蹤，但因相關配套措施尚未完備，預估7月底前台積電將不會提出八吋晶圓廠赴大陸投資申請。根據經濟部規畫，經濟部將成立「跨部會審查及監督小組」負責審查和追蹤管理八吋晶圓廠赴大陸投資，並由經濟部長擔任召集人，層級較投審會更高，為求審慎將來不排除針對晶圓廠西進頒行專案作業要點。

目前已知僅台積電表示要在今年七月提出申請，但因晶圓廠赴大陸投資須採直接投資，相關修法還未完成；同時，經濟部和台積電對台積電十二吋晶圓廠是否已連續六個月進入基本量產，採認上有相當差距，雙方仍在就十二吋晶圓廠的良率、成本和產值算進行磋商。

經濟部在四月二十四日即公告開放八吋晶圓廠及相關產業赴大陸投資，但因相關配套措施尚未完成，至今未見廠商提出申請，經濟部投審會最近雖完成「晶圓廠赴大陸投資申請及審查作業要點草案」，但是否要公告實施，相關單位尚無定論。